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Model : Trooper   Bi  Highlights

•Designed to be efficient and effective in its performance while taking up minimal space
•Multiple test parallelism with precision thermal chuck up to 200 200°C
•Optical alignment before probe
•Probe mark inspection capability
•User definable burn in profile
•Support pre burn in and post burn in test
•Safety measure by simultaneous Voltage / Current measurement and temperature monitoring
•Manual/Automate SiC bare wafer handling 6” 8”

晶圆级功率器件老化测试分选机

Trooper-BI4是一款全自动老化测试分选机，为碳化硅晶圆可靠性和晶圆级老化测试提供了卓越的性能。它允许4片晶圆同时老化，用我们的精密主动对准龙门系统可以自动处理晶圆从晶圆盒到卡盘。改分选机可以支持2英寸至12英寸的晶圆，并提供多个探头测试，每个晶圆可达到1800个测试通道，热卡盘温度可高达200∘C。

• 通道数：每个晶圆单元多达1800个通道
• 处理2”，3”，4”，5”，6”，8”和12”裸晶圆片
• 使用热卡盘在高达200∘C的高温下进行多个探头测试
• 用户自定义老化配置文件
• 执行老化前和老化后的测试
• 老化后视觉检查
• 在老化过程中实时电压/电流测量和温度监测

晶圆级功率老化测试机

这是为了功率器件而设计的最新晶圆级老化测试系统。这种创新的测试器可容纳2片测试并行度，每片720模测试并行度。独立的驱动通道，可同时测量电压/电流以及温度监测。设计有一个密封室，以容纳惰性气体，如氮气和电弧抑制气体，它保护DUT免受电弧和氧化，同时保持测试仪在工作温度状态下不过热。

• 使用者可自订老化方式 （连续或脉冲模式）
• 晶圆级的多重测试并行性
• 同时进行电压/ 电流测量和温度检测
• 多个独立的驱动管道
• 采用密封式的设计，适用於惰性气体如氮气和灭弧气体
• 老化后的晶圆布置图