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產品
TROOPER-BI4
電洽
晶圓級功率器件老化測試分選機
Trooper-BI4是一款全自動老化測試分選機,為碳化硅晶圓可靠性和晶圓級老化測試提供了卓越的性能。它允許4片晶圓同時老化,用我們的精密主動對準龍門系統可以自動處理晶圓從晶圓盒到卡盤。改分選機可以支持2英寸至12英寸的晶圓,並提供多個探頭測試,每個晶圓可達到1800個測試通道,熱卡盤溫度可高達200∘C。
- 通道數:每個晶圓單元多達1800個通道
- 處理2”,3”,4”,5”,6”,8”和12”裸晶圓片
- 使用熱卡盤在高達200∘C的高溫下進行多個探頭測試
- 用戶自定義老化配置文件
- 執行老化前和老化後的測試
- 老化後視覺檢查
- 在老化過程中實時電壓/電流測量和溫度監測