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晶圓級功率老化測試機

這是為了功率器件而設計的最新晶圓級老化測試系統。這種創新的測試器可容納2片測試並行度，每片720模測試並行度。獨立的驅動通道，可同時測量電壓/電流以及溫度監測。設計有一個密封室，以容納惰性氣體，如氮氣和電弧抑制氣體，它保護DUT免受電弧和氧化，同時保持測試儀在工作溫度狀態下不過熱。

• 使用者可自訂老化方式 （連續或脈衝模式）
• 晶圓級的多重測試並行性
• 同時進行電壓/ 電流測量和溫度檢測
• 多個獨立的驅動管道
• 採用密封式的設計，適用於惰性氣體如氮氣和滅弧氣體
• 老化後的晶圓佈置圖