Trooper BI Wafer Level Burn In Handler (WLBI)
•Designed to be efficient and effective in its performance while taking up minimal space
•Multiple test parallelism with precision thermal chuck up to 200 200°C
•Optical alignment before probe
•Probe mark inspection capability
•User definable burn in profile
•Support pre burn in and post burn in test
•Safety measure by simultaneous Voltage / Current measurement and temperature monitoring
•Manual/Automate SiC bare wafer handling 6” 8”
TROOPER-BI4
Trooper-BI4是一款全自動老化測試分選機，為碳化硅晶圓可靠性和晶圓級老化測試提供了卓越的性能。它允許4片晶圓同時老化，用我們的精密主動對準龍門系統可以自動處理晶圓從晶圓盒到卡盤。改分選機可以支持2英寸至12英寸的晶圓，並提供多個探頭測試，每個晶圓可達到1800個測試通道，熱卡盤溫度可高達200∘C。
- 通道數：每個晶圓單元多達1800個通道
- 處理2”，3”，4”，5”，6”，8”和12”裸晶圓片
- 使用熱卡盤在高達200∘C的高溫下進行多個探頭測試
- 用戶自定義老化配置文件
- 執行老化前和老化後的測試
- 老化後視覺檢查
- 在老化過程中實時電壓/電流測量和溫度監測
WLBI-22
晶圓級功率老化測試機
這是為了功率器件而設計的最新晶圓級老化測試系統。這種創新的測試器可容納2片測試並行度，每片720模測試並行度。獨立的驅動通道，可同時測量電壓/電流以及溫度監測。設計有一個密封室，以容納惰性氣體，如氮氣和電弧抑制氣體，它保護DUT免受電弧和氧化，同時保持測試儀在工作溫度狀態下不過熱。
- 使用者可自訂老化方式 （連續或脈衝模式）
- 晶圓級的多重測試並行性
- 同時進行電壓/ 電流測量和溫度檢測
- 多個獨立的驅動管道
- 採用密封式的設計，適用於惰性氣體如氮氣和滅弧氣體
- 老化後的晶圓佈置圖
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